Металлокерамические корпуса для МЭМС
Металлокерамические корпуса предназначены для микроэлектромеханических систем (МЭМС):
- микромеханических преобразователей угловой скорости
- микромеханических гироскопов акселерометров
Корпус ИДЯУ.301176.015
- Габаритные размеры (16,5 × 16,5 × 4,7) мм
- Размер монтажной площадки под кристалл (7,6 × 7,6) мм
- Глубина монтажного колодца 4,19 мм
Корпус ИДЯУ.301176.033
- Габаритные размеры (12,0 × 12,0 × 3,5) мм
- Размер монтажной площадки под кристалл (7,62 × 7,62) мм
- Глубина монтажного колодца 2,5 мм
Корпус ИДЯУ.301176.030-005
- Габаритные размеры (19,5 × 11,50 × 4,5) мм
- Размер монтажной площадки под кристалл (14,9 × 5,6) мм
- Глубина монтажного колодца 3,3 мм
- Матричное расположение монтажных площадок в два уровня внутри корпуса
Корпус ИДЯУ.301176.030-006
- Габаритные размеры (19,5 × 11,50 × 4,5) мм
- Размер монтажной площадки под кристалл (14,9 × 5,6) мм
- Глубина монтажного колодца 3,3 мм
- Матричное расположение монтажных площадок в два уровня внутри корпуса
- Монтаж корпуса на печатную плату осуществляется плоскостью со стороны торцевой металлизации
ПРИМЕНЕНИЕ
Металлокерамические корпуса предназначены для микроэлектромеханических
систем (МЭМС):
- микромеханических преобразователей угловой скорости
- микромеханических гироскопов акселерометров
ОСНОВНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
- Хорошая вакуумная плотность (герметичность), по эквивалентному нормализованному потоку составляет не более 6,65•10-13 Па•м3•с-1
или 5•10-5 л•мкм рт.ст.•с-1 - Высокое сопротивление изоляции – керамики, обеспечивающее надежную защиту от электрического пробоя, Rиз ≥ 1•10-10 Ом при Uпр= 100 В
- Низкое сопротивление токоведущих элементов (проводников), Rпр ≤ 0,5 Ом. Величина Rпр зависит от конструктивного исполнения изделия
- Малое внутреннее тепловое сопротивление корпус-среда (Rt), не более 0,5 К/Вт
- Хорошая стойкость к резкому изменению температуры в диапазоне
от -60 °С до +155 °С - Высокая механическая прочность и надежность изделий
- Способ герметизации для керамической крышки – пайка
- Способ герметизации для металлической крышки – шовно-роликовая сварка
- Небольшие массогабаритные характеристики в зависимости от конструкции изделий
Применяемые материалы
- Алюмооксидная вакуумплотная корундовая керамика марки:
- Металлы и сплавы:
Возможность проектирования и изготовления металлокерамических корпусов по КД и ТЗ потребителей.
