Ручная зондовая станция OmegaAir-150COAX
Станция предназначена для измерения и контроля электрических величин полупроводниковых пластин в ручном режиме, в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях. Измерения проводятся по постоянному току, НЧ.
Наведите курсор на фото для увеличенияОсобенности:
- диаметр пластин до 150 мм;
- установка до 4 микропозиционеров;
- быстрое позиционирование на пластине с минимальными усилиями;
- удобное интуитивно понятное управление;
- три фиксированных положения для удобства загрузки пластины, её позиционирования и контактирования с образцом;
- гальваническая развязка столика;
- малые габариты.
Технические характеристики
| Наименование параметра, единицы измерений | Норма параметра |
| Диаметр столика | 160 |
| Максимальный диаметр пластин | 150 мм (6 дюймов) |
| Общее перемещение по XY | 195 х 215 мм |
|
Точное перемещение по XY |
25 x 25 мм (микрометрический винт) |
|
Угол поворота столика |
± 10 градусов |
|
Конструкция |
Гальванически изолированный столик |
|
Изоляция |
> 5 ГОм |
| Подъем стола, мм, не менее |
Перемещение – 0,2; Загрузка пластины – 2,0 |
| Угол поворота стола, градус, не менее | ±5 |
|
Количество одновременно устанавливаемых микропозиционеров |
4 |
|
Габариты |
600х480х480 мм |
|
Масса, кг, не более |
50 |
| Гарантия на изделие | от 1 года |
| Срок службы | 5 лет |
Базовый комплект поставки:
- Зондовая станция «OmegaAir-150COAX» - 1 шт.
- Бинокулярный микроскоп «Альтами CM0655-T» - 1 шт.
- Манипулятор для DC измерений - 2 шт.
- Руки для DC держателей (в коаксиальном исполнении) - 4 шт.
Дополнительные опции:
- модель микроскопа по желанию заказчика;
- вакуумный насос;
- поставка программно-аппаратного комплекса на основе зондовой станции и любых известных измерительных приборов.
Эксплуатационные ограничения
Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях.
Не допускается попадание прямых солнечных лучей и нагревание станции свыше 60 °С.
Предприятие-изготовитель не несет ответственности за последствия неправильной эксплуатации, нарушения правил безопасности и несоблюдения прочих необходимых мер предосторожности.
