Полуавтоматическая зондовая станция Terra-200
Полуавтоматическая зондовая станция Terra-200 ЯЮКЛ.442241.002 предназначена для измерений и контроля электрических величин полупроводниковых пластин в автоматическом режиме, загрузка пластин осуществляется вручную. Станция применяется в качестве оснастки для измерений.
Наведите курсор на фото для увеличенияОсобенности:
- диаметр пластин до 200 мм;
- установка до 4 СВЧ микропозиционеров;
- гальваническая развязка столика;
- несколько вакуумных зон для удержания пластин различного диаметра;
- продвинутая оптическая система;
- отечественное ПО в комплекте.
- Зондовая станция «Terra-200 COAX» - 1 шт.
- Цифровой микроскоп - 1 шт.
- Манипулятор для СВЧ измерений - 2 шт.
- Манипулятор для DC измерений - 2 шт.
- ПО ProMeas Lite.
- вакуумный насос;
- манипулятор для СВЧ измерений;
- манипулятор для DC измерений;
- комплекс ПО ICCreatech.
Технические характеристики
|
Наименование параметра, единицы измерений |
Норма параметра |
|
Диаметр столика |
210 мм |
|
Максимальный диаметр пластин |
200 мм (8 дюймов) |
|
Общее перемещение по XY |
220 х 220 мм |
|
Точность позиционирования по XY |
3 мкм |
|
Моторизированные оси |
XYZT + XY микроскоп |
|
Угол поворота столика |
10 градусов |
|
Конструкция |
Гальванически изолированный столик |
|
Изоляция |
> 5 ГОм |
|
Количество одновременно устанавливаемых микропозиционеров |
4 |
|
Габариты |
650х750х750 мм |
| Масса, кг, не более | 180 |
| Гарантия на изделие | от 1 года |
| Срок службы | 5 лет |
Базовый комплект поставки:
Дополнительные опции:
Эксплуатационные ограничения
Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях.
Не допускается попадание прямых солнечных лучей и нагревание станции свыше 60 °С.
Предприятие-изготовитель не несет ответственности за последствия неправильной эксплуатации, нарушения правил безопасности и несоблюдения прочих необходимых мер предосторожности.
