Ручная зондовая станция OmegaAir-150mmW
Зондовая станция предназначена для измерения и контроля электрических характеристик устройств на неразделенных полупроводниковых пластинах в ручном режиме.
Наведите курсор на фото для увеличенияОсобенности:
- быстрое позиционирование на пластине;
- удобное интуитивно понятное управление;
- усиленная конструкция станции;
Технические характеристики
| Наименование параметра, единицы измерений | Норма параметра |
|
Диаметр держателя полупроводниковых пластин, мм |
160 |
|
Тип привода держателя полупроводниковых пластин (* 1, 2) |
Пневматический/винтовой |
| Точное перемещение по осям XY, мм | 25 |
|
Максимальный размер пластины для измерений, мм |
150 |
| Плоскостность держателя полупроводниковых пластин, мкм | 20 |
| Максимальное количество позиционеров, шт. | 6 |
| Подъем стола, мм | 2,0 |
| Угол поворота стола, градус, не менее | ±5 |
|
Габаритные размеры, мм: высота, ширина, глубина |
600 х 700 х 670 |
| Вес, кг, не более | 100 |
| Измерения |
По постоянному току, СВЧ |
| Тип рабочего стола | Расширенный с дополнительными опорами |
| Гарантия на изделие | от 1 года |
| Срок службы | 5 лет |
|
*Примечания
1) Усиленная конструкция станции обеспечивает высокую механическую стабильность и повторяемость контакта с измеряемым образцом.
2) Усиленная конструкция станции обеспечивает высокую механическую стабильность и повторяемость контакта с измеряемым образцом. |
|
Базовый комплект поставки:
- Зондовая станция «OmegaAir-150mmW»;
- Бинокулярный микроскоп с видео выходом;
- Источник света;
- Система перемещения микроскопа;
- Насос поршневой вакуумный;
- Монитор.
Дополнительные опции:
- Под задачи Заказчика зондовая станция комплектуется необходимыми аксессуарами (микропозиционерами, зондами, иглами и т.д.).
Эксплуатационные ограничения
Станция предназначена для эксплуатации в макроклиматических условиях с умеренным и холодным климатом в лабораторных помещениях.
Не допускается попадание прямых солнечных лучей и нагревание станции свыше 60 °С.
Предприятие-изготовитель не несет ответственности за последствия неправильной эксплуатации, нарушения правил безопасности и несоблюдения прочих необходимых мер предосторожности.
